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净化工程技术与设备的发展趋势

发表时间:2019-07-04
  洁净技术是近二、三十年来随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术,又称为生产环境和污染控制技术。洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质,有效地控制微量杂质,以保证产品的成品率和可靠性。洁净技术通常包括:空气净化技术、净化工程技术、空调技术、水净化技术、气体净化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。洁净技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。
  对于半导体设备来讲,洁净技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国在“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。洁净技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
  随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高的要求,用水净化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎,洁净技术已开始进入千家万户,进入人们的现代生活。
  我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比差距是明显的,我国1965年才开始生产的HEPA过滤器,比国外晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在国际上先进国家已成为成熟技术,我国则刚刚起步。
  世界各工业先进国家为适应超净技术的发展,对大量使用的高效过滤器的研究从未中断,几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品,美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器,1984年美国AAF公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器,目前0.1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。日本也已成为世界上生产0.1微米ULPA过滤器厂家最多的国家,品种繁多,产品系列化,尤其是低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对高效空气过滤器的需求量很大,且每年均有增长,目前日本每年销售超过100万台,按每台平均价格200美元计算,销售额达2亿美元。我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年10万台,占国际市场的2%~4%,但至今还没有0.1微米ULPA过滤器生产,用于超大规模集成电路生产洁净室及各种高科技领域洁净室的0.1微米ULPA过滤器目前还要依赖进口。